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      了解真空等離子清洗機的運行過程

      更新時間:2021-12-21   點擊次數:415次
         真空等離子清洗機是一種全新的高科技技術,利用等離子體來達到常規清洗方法無法達到的效果。等離子清潔機就是通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表面,從而實現清潔、涂覆等目的。等離子體清洗技術的特點是不分處理對象的基材類型,均可進行處理,對金屬、半導體、氧化物和大多數高分子材料,如聚丙烯、聚脂、聚酰亞胺、聚氯乙烷、環氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地處理,并可實現整體和局部以及復雜結構的清洗。
        
        下面我們去了解真空等離子清洗機的運行過程,具體如下:
       ?。?)被清洗的工件送入真空室并加以固定,啟動運行裝置,開始排氣,使真空室內的真空程度達到10Pa左右的標準真空度。一般排氣時間大約需要2min。
        
       ?。?)向真空室引入等離子清洗用的氣體,并使其壓力保持在100Pa。根據清洗材質的不同,可分別選用氧氣、氫氣、氬氣或氮氣等氣體。
        
       ?。?)在真空室內的電極與接地裝置之間施加高頻電壓,使氣體被擊穿,并通過輝光放電而發生離子化和產生等離子體。讓在真空室產生的等離子體完全籠罩在被處理工件,開始清洗作業。一般清洗處理持續幾十秒到幾分鐘。
        
       ?。?)清洗完畢后切斷高頻電壓,并將氣體及汽化的污垢排出,同時向真空室內鼓入空氣,并使氣壓升至一個大氣壓。
        
        等離子體的產生主要是靠電子去撞擊中性氣體原子,使中性氣體原子解離而產生等離子體,但中性氣體原子核對其外圍的電子有一束縛的能量,我們稱它為束縛能,而外界的電子能量必須大于此束縛能,才會有能力解離此中性氣體原子,但是,此外界的電子往往是能量不足的,沒有解離中性氣體原子的能力,所以,我們必須用外加能量的方法給原子電子能量,使電子有利用解離此中性氣體原子。要外加能量給電子,簡單的方法就是用平行電極板加一直流電壓,電子在電極中,會被帶正電的電極所吸引而加速,在加速的過程中電子可以累積能量,當電子的能量達到某一程度時,就有能力來解離中性氣體原子。
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